SIASUN SRBZ820C (SRBZ820C)

در موقعیت‌یابی محصول SIASUN، SRBZ820C با اتوماسیون فرآیندهای نیمه‌رسانا و خلاءمرتبط است، جایی که ربات‌ها درون یا مجاور اتاقک‌های خلاء و ماژول‌های انتقال عمل می‌کنند تا زیرلایه‌های حساس (که معمولاً ویفرها یا قطعات کار مشابه هستند) را بین مراحل فرآیند جابه‌جا کنند.

SRBZ820C معمولاً به عنوان یک راه‌حل تأیید شده توسط SEMI با تأکید بر قابلیت اطمینان بالا (با یک مقدار MCBF ذکر شده)، آب‌بندی مایع مغناطیسیو انتقال با نوار فولادیتوصیف می‌شود، به همراه ویژگی‌های کنترل حرکت که به منظور بهبود بهره‌وری در وظایف انتقال خودکار خلاء طراحی شده‌اند.

SIASUN (که همچنین به عنوان SIASUN Robot & Automationشناخته می‌شود) یک تأمین‌کننده معتبر رباتیک و اتوماسیون است که محصولات ربات، اجزای اصلی و راه‌حل‌های صنعتی را برای مشتریان جهانی ارائه می‌دهد.

طراحی و ویژگی‌ها

معماری سازگار با خلاء

ربات‌های انتقال خلاء معمولاً نیاز به انتخاب‌های طراحی دارند که با دست‌کاری‌های استاندارد در کارخانه متفاوت است، از جمله:

• استراتژی‌های آب‌بندی و کنترل نشتی برای حفظ یکپارچگی خلاء

• مواد با گازدهی کم و درمان‌های سطحی برای کاهش خطر آلودگی

• سیستم‌های حرکتی بهینه‌سازی شده برای تکرارپذیری به جای همکاری ایمن برای انسان

برای SRBZ820C، فهرست‌های محصول به‌طور خاص بر آب‌بندی مایع مغناطیسیتأکید می‌کنند، یک تکنیک که معمولاً در سیستم‌های خلاء برای کمک به ایزوله کردن اجزای داخلی درایو در حالی که سازگاری با خلاء را حفظ می‌کند، استفاده می‌شود.

مکانیک انتقال و حرکت

SRBZ820C به عنوان استفاده از انتقال با نوار فولادیتوصیف می‌شود، انتخابی که معمولاً با تحویل حرکت نرم و کاهش تولید ذرات نسبت به برخی گزینه‌های دیگر مرتبط است، بسته به پیاده‌سازی.

کنترل، ایمنی و عملکردهای بهره‌وری

توصیف‌های فروشنده برای SRBZ820C بر یک سیستم کنترل شبکه‌ای, حفاظت در برابر برخوردو اصلاح انحراف دینامیکتأکید می‌کنند — ویژگی‌هایی که معمولاً به منظور:

• کاهش توقف‌های غیرمنتظره و خطر آسیب،

• حفظ دقت مسیر در طول انتقال‌های مکرر، و

• پشتیبانی از توان عملیاتی بالاتر در خوشه‌های ابزار خودکار طراحی شده‌اند.

فهرست‌ها همچنین به برنامه‌ریزی مسیر بهبودهایی را برای افزایش ریتم حرکت و بهره‌وری کلی توصیف می‌کنند.

فناوری و مشخصات

تم‌های مشخصات اصلی (همان‌طور که معمولاً فهرست شده‌اند)

فهرست‌های عمومی فروشنده برای SRBZ820C به طور مکرر نقاط مشخصات سرخط زیر را ارائه می‌دهند:

• تأیید شده توسط SEMI (همان‌طور که ذکر شده)

• MCBF > 10M (همان‌طور که ذکر شده)

• آب‌بندی مایع مغناطیسی

• انتقال با نوار فولادی

توجه: پارامترهای دقیق مانند بار دقیق، دسترسی، سازگاری اندازه ویفر، پیکربندی محور یا دامنه فشار خلاء به طور مداوم در برش‌های عمومی قابل دسترسی بالا منتشر نمی‌شوند؛ این‌ها معمولاً در یک برگه داده OEM، راهنمای ادغام یا بسته نقل قول تأیید می‌شوند.

معیار قابلیت اطمینان (MCBF)

MCBF (“میانگین چرخه‌ها بین خرابی‌ها”) یک معیار قابلیت اطمینان است که معمولاً در اتوماسیون با حجم بالا استفاده می‌شود، به ویژه جایی که “چرخه‌ها” به عملیات تکراری برداشت و قرار دادن یا انتقال مربوط می‌شوند. SRBZ820C با MCBF > 10Mفهرست شده است، که بر تأکید بر عملکرد طولانی قبل از وقوع یک رویداد خرابی، مطابق با الزامات زمان کار ابزار نیمه‌رسانا تأکید می‌کند.

زمینه سیستم در پرتفوی رباتیک SIASUN

SIASUN دامنه وسیعی از محصولات رباتیک و سیستم‌های اتوماسیون را بازاریابی می‌کند، از جمله ربات‌های صنعتی که حسگری، مفاهیم شناختی/پشتیبانی تصمیم و راه‌حل‌های متناسب با کاربرد را در بخش‌های مختلف ادغام می‌کنند.
به طور موازی، SIASUN همچنین دسته‌های “ربات ویژه” را توصیف می‌کند که می‌توانند شامل حرکت چندمحوره با سرعت بالا و حرکات طولانی باشند، که قابلیت‌های اتوماسیون وسیع‌تری را فراتر از یک نوع ربات واحد منعکس می‌کند.

کاربردها و موارد استفاده

ابزارهای خوشه‌ای خلاء نیمه‌رسانا

یک مورد استفاده اصلی برای ربات‌های خلاء مانند SRBZ820C در معماری ابزار خوشه‌ای خلاءاست، جایی که زیرلایه‌ها بین:

• قفل‌های بار،

• اتاقک‌های انتقال،

• ماژول‌های فرآیند (حکاکی، رسوب‌گذاری، آنیل، و غیره) و

• مراحل متروژی/بازرسی جابه‌جا می‌شوند.

در این محیط‌ها، نقش ربات ارائه انتقال‌های تکراری و کنترل‌شده از نظر آلودگی است که توان عملیاتی ابزار را حفظ کرده و از زیرلایه‌های شکننده و با ارزش بالا محافظت می‌کند.

اتوماسیون اتاق تمیز و جابه‌جایی حساس به آلودگی

SRBZ820C به عنوان یک ربات اتاق تمیز خلاءتوصیف می‌شود، که آن را با فرآیندهایی که نیاز به کنترل دقیق ذرات و مسیرهای جابه‌جایی ثابت دارند، هم‌راستا می‌کند.
الزامات معمول ناشی از اتاق تمیز شامل:

• پروفایل‌های شتاب/کاهش کنترل‌شده برای جلوگیری از لغزش زیرلایه،

• اجتناب از برخورد برای محافظت از اثرات انتهایی و سخت‌افزار اتاقک،

• تکرارپذیری پایدار برای کاهش تغییرات فرآیند.

خطوط انتقال تکراری با توان عملیاتی بالا

جایی که یک سلول جابه‌جایی خلاء همان حرکات را هزاران بار در روز تکرار می‌کند، عملکردهایی مانند اصلاح انحراف دینامیک و بهبود برنامه‌ریزی مسیر می‌توانند از نظر عملیاتی مهم باشند و با کاهش انحراف تجمعی و حداقل کردن کندی‌ها ناشی از برخوردهای میکرو یا تلاش‌های هم‌راستایی، تأثیرگذار باشند.

مزایا / منافع

سازگاری با خلاء با تأکید بر آب‌بندی

ذکر صریح آب‌بندی مایع مغناطیسی سازگاری با سیستم‌های خلاء را برجسته می‌کند و توجه به یکپارچگی مرز خلاء و کنترل آلودگی را پیشنهاد می‌کند.

موقعیت‌یابی قابلیت اطمینان برای زمان کار صنعتی

یک MCBF > 10M فهرست SRBZ820C را با صنایع مبتنی بر زمان کار که بهره‌وری را با شمارش چرخه‌های پایدار و حداقل زمان خرابی ابزار اندازه‌گیری می‌کنند، هم‌راستا می‌کند.

ویژگی‌های کنترل مبتنی بر بهره‌وری

ترکیب سیستم کنترل شبکه‌ای, حفاظت در برابر برخورد, اصلاح انحراف دینامیکو برنامه‌ریزی مسیر بهبودها معمولاً با:

• بهبودی سریع‌تر از اختلالات جزئی،

• توقف‌های کمتر به دلیل برخورد یا عدم هم‌راستایی، و

• پروفایل‌های حرکتی نرم‌تر که می‌توانند توان عملیاتی را افزایش دهند، مرتبط است.

بخش سوالات متداول

SRBZ820C SIASUN چیست؟

SRBZ820C SIASUN یک ربات اتاق تمیز خلاء طراحی شده برای وظایف انتقال خودکار در اتوماسیون فرآیند خلاء است که معمولاً با جابه‌جایی ابزار نیمه‌رسانا و خلاء مرتبط است.

SRBZ820C چگونه کار می‌کند؟

SRBZ820C حرکات انتقال رباتیک تکراری را درون یا مجاور اتاقک‌های خلاء با استفاده از عناصر طراحی متمرکز بر خلاء (شامل آب‌بندی مایع مغناطیسی) و یک سیستم حرکت/کنترل توصیف شده به عنوان شبکه‌ای و متمرکز بر بهره‌وری انجام می‌دهد.

چرا SRBZ820C مهم است؟

در تولید خلاء، زمان کار ابزار و کنترل آلودگی حیاتی هستند. SRBZ820C با ویژگی‌های قابلیت اطمینان و کنترل مانند MCBF > 10M، حفاظت در برابر برخورد و اصلاح انحراف، که همگی به منظور پشتیبانی از عملیات پایدار با حجم بالا طراحی شده‌اند، بازاریابی می‌شود.

مزایای SRBZ820C چیست؟

مزایای معمولاً فهرست شده شامل آب‌بندی متمرکز بر خلاء, انتقال با نوار فولادی, قابلیت اطمینان بالا (MCBF > 10M)و ویژگی‌های کنترلی مانند حفاظت در برابر برخورد, اصلاح انحراف دینامیکو برنامه‌ریزی مسیر است که به منظور بهبود بهره‌وری طراحی شده‌اند.

خلاصه

SRBZ820C SIASUN (SRBZ820C) به عنوان یک ربات اتاق تمیز خلاء برای اتوماسیون فرآیند خلاء موقعیت‌یابی شده است، که بر تأییدیه فهرست شده SEMI, MCBF > 10M, آب‌بندی مایع مغناطیسیو انتقال با نوار فولادیتأکید دارد، که با ویژگی‌های کنترلی مانند حفاظت در برابر برخورد, اصلاح انحراف دینامیکو بهبود برنامه‌ریزی مسیرپشتیبانی می‌شود. ارزش اصلی آن در امکان‌پذیری انتقال‌های تکراری و آگاه از آلودگی در جریان‌های تولیدی حیاتی برای زمان کار در خلاء نهفته است.