SIASUN Vacuum Transfer Platform Diagram 600 (Diagram 600)

Trong ngữ cảnh này, “nền tảng chuyển giao chân không” thường đề cập đến một hệ thống con tích hợp cho phép การเคลื่อนที่ของเวเฟอร์ระหว่างอินเตอร์เฟซโหลด/ปล่อยและโมดูลกระบวนการที่ใช้สูญญากาศ, ຮັກສາສະຖານທີ່ມີຄວາມດັນຄວາມຄຸ້ນຄວາມເພື່ອລົດຄວາມສູນເສຍແລະສະໜອງການຜະລິດທີ່ສາມາດປ່ອນໄດ້ອີກ.

คำอธิบายผลิตภัณฑ์สาธารณะสำหรับ Diagram 600 ระบุว่าเป็นแพลตฟอร์มที่ใช้เป็นหลักสำหรับ ການໂອນແຜ່ນວາເຟີລໃນສະຖານທີ່ຜະລິດຊິບຊິເຄມິກ, ແລະອະທິບາຍສະຖານທີ່ປະກອບດ້ວຍ loading/unloading chambers (load locks), a transfer chamber, a pre-aligner, and a vacuum robot, ກັບ ການດຶງອາກາດແລະການກັບຄືນ ຟັງຊັນເພື່ອສະໜອງການດຳເນີນງານທີ່ສະອາດສູງ.

[ "ໃນສະຖານທີ່ກວ່າງຂວາງສໍາລັບອຸປະກອນຊິເມນຕິກ, ສະຖານທີ່ຖອນອາກາດສຽງຢູ່ລົງຈາກການອະດູດສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັບສໍາລັ ຍ່າຍແຜ່ນໃນສະຖານທີ່ມີອາກາດສູນ (or through controlled vacuum transitions) ດັ່ງນັ້ນ ບໍ່ຈິງຈະຕ້ອງເປີດຫ້ອງກະບອນໃຫ້ເປີດສູ່ອາກາດລະລຽດລະຫວ່າງການເສຍບໍ່ລະດັບ—ແນວທາງນີ້ສະໜອງຄວາມຜະລິດແລະຄວາມສະຖາບປອດໃນການປະຕິບັດ.

ออกแบบและคุณสมบัติ

ສະຖານທີ່ສະຖານທີ່ລະບົບ

Một nền tảng chuyển giao chân không điển hình được tổ chức xung quanh nhiều buồng và giao diện:

• Loading/Unloading chambers (Load Locks): Các buồng trung gian mà chu kỳ giữa áp suất khí quyển và chân không, cho phép các tấm wafer vào/ra các công cụ chân không mà không cần thông hơi môi trường chân không chính.

• ຫ້ອງແອດ: ห้องสูญญากาศกลางที่ให้สภาพแวดล้อมที่ควบคุมได้ซึ่งหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์เคลื่อนย้ายซับสเตรตระหว่างอินเตอร์เฟส

• ຫູບອດສຽງ: กลไกการจัดการภายในที่ดำเนินการเลือก/วางภายใต้สูญญากาศ

• Pre-aligner (wafer orienter): ການກໍ່ລົງລະບຽບ (ການປ່ອນແຜ່ນ): โมดูลที่ใช้ในการปรับแนวหรือจัดศูนย์เวเฟอร์ก่อนที่จะถ่ายโอนไปยังโมดูลกระบวนการหรือสถานะการจัดการในลำดับถัดไป

SIASUN’s Diagram 600 ລາຍຊື່ທີ່ລະບຸຢ່າງແຈ່ຈິງໃນສ່ວນສໍາຄັນເຫຼົ່ນນີ້—"loading/unloading chambers", "transfer chamber", "pre-aligner", "and vacuum robot"—ເປັນສໍາລັບລະບຽບລວມສ່ວນຟັງຊັນ.

ການດຶງອາກາດແລະການກັບຄືນ

ຄຳອະທິບາຍຮູບແບບ 600 ກໍ່ອໍານວນກໍ່ອີກ “ການດຶງອາກາດແລະການຄືນສູ່ສິນຄ້າ” aimed at high cleanliness operation. In semiconductor vacuum systems, load locks and transfer modules commonly use controlled pump-down and vent (backfill) procedures to transition wafers between atmospheric handling and vacuum processing while reducing particle introduction and limiting pressure shocks.

ຄວາມສະອາດແລະການຄວບຄຸມການປ່ອນສິ່ງປ່ອນ

[ "ການໂອນແผ່ນສຽງຊິນຕອນໃນສະຖານທີ່ມີອາກາດສູນເສຍແມ່ນເຊື່ອມກັບການຄວບຄຸມຄວາມສະບັບສະບັດ. ອຸດສາກະສາອໍ່ອອກອະທິບາຍວ່າແผ່ນສຽງເຂຶ້ນແລະອອກຈາກເຄື່ອງມືສູນເສຍຜ່ານ" ] ບໍ່ລົດລອດສະຖານທີ່ เพื่อรักษาระดับสูญญากาศที่ถูกต้องและสนับสนุนกระบวนการที่ไวต่ออนุภาค แผนภาพ 600 ถูกนำเสนอโดยมี "ความสะอาดสูง" เป็นเป้าหมายการดำเนินงานหลัก ซึ่งสอดคล้องกับแรงจูงใจสำหรับแพลตฟอร์มการถ่ายโอนสูญญากาศในโรงงานผลิตเวเฟอร์

เทคโนโลยีและสเปค

Môđun chức năng cốt lõi

ຂໍໍ່າສາລະບົບສະຖານທີ່ສາມາດສໍາລັບ Diagram 600 ມັກຈະເປັນລະດັບສູງ. ບັນຊີສິນຄ້າລະບຸກອິດສິນຄ້າສໍາລັບສະຖານທີ່ສໍາຄັນແຕ່ບໍ່ເຜີຍແຜ່ໃບຂໍໍ່າສາລະບົບສົກສິນຄ້າ (ຕົວຢ່າງ, ຂະບວນຂະບວນຂອງຄວາມສົດສົດ, ຄວາມສົດສົດຂອງລູກຄ້າ, ເວລາສົກສິນຄ້າ). ສິ່ງທີ່ຖືກລະບຸໃນສາລະບົບສະຖານທີ່ສາມາດສໍາລັບ Diagram 600 “ສໍາລັບການສົ່ງສິນຄ້າ” ແລະລວມມອດຕ່າງເຊິ່ງ:

• Loading/Unloading chambers (load locks)

• ຫ້ອງແອດສະຖານ

• ການກໍ່ຕັ້ງກ່

• หุ่นยนต์ดูดฝุ่น

• ຄວາມສາມາດໃນການດຶງອາກາດແລະການກັບຄືນສິນຄ້າ

ວິທີທີ່ແບບສູງສາມາດໃຊ້ງານສໍາລັບການຍ່າຍສິນຄ້າ

Trong công cụ chân không bán dẫn, ບໍ່ລົດລອດສະຖານທີ່ function ສົມບັດເປັນບັດເປັນຄວາມດັນ. ແຜ່ນດິນເຂົ້າ/ອອກ ຜ່ານລອກເອົາເພື່ອເຂົ້າສູ່ລະດັບຄວາມເປັນອາກາດທີ່ເປົ່ນປະສົບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບການສົ່ງມອບໃຫ້ເຂົ້າໃນຫ້ອງສົ່ງມອບອາກາດ. ຂໍແລ້ວ ຫ້ອງສົ່ງຂໍ້ມູນ, ການຍໍ່ຂອງຫຼັກສູດສົ່ງສິນຄ້າລະລັດລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນຄ້າລະດັບສິນ

ບົດບາດຂອງການກໍ່ລະດັບລົ

A pre-aligner (ກໍ່ແຕ່ຖືກເອີ້ນວ່າ orienter/aligner) ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອແນ່ໃຈວ່າ wafers ຖືກຈັດແບບຢ່າງຖືກຕໍ່ກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັບກ່ຽວກັ

{"0":"ເນື້ອຫາແກ່ “Diagram 600” ເປັນຊື່ສິນຄ້າ"}

“Diagram 600” ປາດສະແດງເປັນເສັ້ນສິນທີ່ ສ່ວນ/ແບບລະບຽບ สำหรับแพลตฟอร์มการถ่ายโอนสุญญากาศ SIASUN ในการจัดทำรายการแบบผู้จัดจำหน่าย โดยไม่มีแผ่นข้อมูลวิศวกรรม SIASUN สาธารณะในแหล่งข้อมูลที่มีอยู่ ข้อมูลจำเพาะเชิงตัวเลขเฉพาะรุ่นควรได้รับการพิจารณาว่าเป็นไปตามการเสนอราคาและการกำหนดค่า

ການໃຊ້ງານແລະກໍ່ສະຖານທີ່

Chế tạo wafer bán dẫn

Diagram 600 ຖືກອະທິບາຍໃນການໃຊ້ງານສຳຄັນແມ່ນ การถ่ายโอนเวเฟอร์ในโรงงานผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์. ການໃຊ້ງານທີ່ປະຕິບັດເປັນປະຈໍາລວ

• ການໂອນແຜ່ນຊາດລະຫວ່າງ ໂອນລອດລອກແມດູນແລະເຄື່ອງມືການປະຕິບັດ ທີ່ຕໍ່ງານສິ່ງທີ່ຕ້ອງການສະຖານທີ່ສຽງສຽງ (e.g., deposition, etch, surface treatment).

• สนับสนุนกลุ่มเครื่องมือหลายขั้นตอนที่โมดูลกระบวนการหลายตัวเชื่อมต่อกับห้องโอนสูญญากาศเดียว

ການປ່ອນສູນການປ່ອນອາກາດສູງ

แพลตฟอร์มการถ่ายโอนสูญญากาศมักถูกใช้เพื่อสร้าง ຄລັດເຕີ ທູລ {"0":"ສະຖານທີ່ສຽງ, ທີ່ສະຖານທີ່ສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງ

การวิจัย, สายการผลิตนำร่อง, และการสร้างไมโครเฉพาะทาง

ຂະບວນການຜະລິດສິນຄ້າຈາກຄອມເພີສັນທີ່ໃຫຍ່ແມ່ນການສະແດງທີ່ສັດເສັງທີ່ສຸດ, ແຕ່ລະບົບສົ່ງອາກາດສຽງກໍ່ໃຊ້ໃນການຄົ້ນຄໍາແລະສິນຄ້າທົດລອງ—ເຊັ່ນໃນສະຖານທີ່ທີ່ຕໍ່ສູງສຸດແລະການປ່ອນອາກາດຄວາມຄຸນສູງຖືກຈິງ. ລອກສະລັອກແລະຫ້ອງສົ່ງອາກາດຖືກຮັບຮູ້ວ່າແມ່ນອະຄະສິນສຳຄັນໃນການຜະລິດສິນຄ້າຊິນຄະດິດສິນຄ້າສິນຄ້າສິນຄ້າສິນຄ້າ.

ຂໍໍ່ດີ / ປະໂຫຍດ

ลดการระบายอากาศของเครื่องมือและเพิ่มผลผลิต

Một lợi ích chính của các nền tảng chuyển giao chân không là điều đó กระบวนการหลักสภาพแวดล้อมสูญญากาศสามารถคงที่ได้ ຂະບວນການໃນຂະບວນການໃສ່/ອອກວາເຟີດຜ່ານລູກລອກ. ສາລະບັດອຸດສາກະສາລະບັດອະທິບາຍວ່າວາເຟີດເຂອນ/ອອກຜ່ານລູກລອກເພື່ອໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າລະດັບອາກາດຖືກຕໍ່ສູງແລະຮັກສາສະຖານທີ່ລະອາດຕໍ່ສິນຄ້າ.

ການຄວບຄຸมການປ່ອນເສບປະສົບທີ່ດີກວ

[ "ການຍ່າຍອາກาศແລະການປ່ອນບັດສະຖານຄວາມດັດແລະການລອດລະດັບຄວາມດັດຊ່ວຍລົດການແນະນຳສານລະດັບສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງສູງ

ການດຳເນີນງານການຈັດການແຜ່ນດິນທີ່ສາມາດປ່ອນໄດ້

By using a ຫູດສຽງອາກາດ ภายในห้องโอนย้าย การเคลื่อนที่ของเวเฟอร์จะกลายเป็นซ้ำได้และมีความขึ้นอยู่กับการจัดการด้วยมือที่น้อยลง—สนับสนุนความสอดคล้องของคุณภาพและทำให้สามารถเพิ่มระดับการทำงานอัตโนมัติได้ Diagram 600 ที่ระบุการรวมของหุ่นยนต์สูญญากาศสอดคล้องกับแนวทางมาตรฐานนี้

ຄວາມແທ້ຈິງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງສໍາລັບການຈັດຕັ້ງແລ

รวมກັບບັດທະບຽນ pre-aligner สนับสนุนการจัดแนวและการวางที่สอดคล้องกัน—ซึ่งสำคัญสำหรับกระบวนการในภายหลังที่สมมติว่ามีการจัดแนวเวเฟอร์ที่ทราบ (เช่น การจัดแนวร่อง/แบนในกระบวนการบางอย่าง)

```lo ["ສົຖະພາບຄໍາ

ອະທິບາຍ SIASUN Vacuum Transfer Platform Diagram 600 (Diagram 600) ຄືອະທິບາຍສິນຄ້າ 600 ສິນຄ້າ 600?

ນັ້ນແມ່ນ ສະແດງສິນຄ້າສະຖານທີ່ຍ່າຍແຜ່ນວາຟ໌ສຽ intended for semiconductor facilities, described as a system that facilitates wafer transfer and includes loading/unloading chambers, a transfer chamber, a pre-aligner, and a vacuum robot, ກັບຟັງຊັນການດຶກອາກາດ/ການບັດຄືນ.

Diagram 600 ດໍາເນີນງານແນບໃດ?

Trong một quy trình làm việc điển hình, các tấm wafer chuyển qua ບໍ່ລົດລອດສະຖານທີ່ ["ທີ່ປ່ອນລົດລະດັບລະດັບລະດັບລະດັບລະດັບລະດັບລະດັບລະດັບລະດັບລະດ ຫູດສຽງອາກາດ ຍໍ່ຄອບຄອງຄອບຄອງຄອບຄອງ ຫ້ອງສົ່ງຂໍ້ມູນ ถึงส่วนต่อประสานเครื่องมือที่อยู่ด้านล่าง แผนภาพ 600 ถูกอธิบายว่าเป็นการประกอบด้วยโมดูลหลักเหล่านี้ ซึ่งสอดคล้องกับสถาปัตยกรรมการถ่ายโอนสุญญากาศทั่วไป

[ "ເທົ່າໃດການສົ່ງຂໍ້ມູນສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສ

แพลตฟอร์มการถ่ายโอนสูญญากาศช่วยรักษาสภาพแวดล้อมในกระบวนการที่ละเอียดอ่อนให้มีเสถียรภาพโดยการใช้ ລູກລອກ ແລະ ห้องโอนสุญญากาศ, ລົດລະດັບຄວາມຈິງໃນການປ່ອນອາກາດສູງສຸດສູງແລະສະໜັບສະໜູນສະຖານທີ່ສໍາລັບການຜະລິດທີ່ Empirical.

ບົດບາດຂອງລອດລອກແລະຫ້ອງສົ່ງໃນຮູບແບບ 600 ຄືອະໄດ້?

[ "ລູກລອກໃຫ້ຄວາมດັດແປງຄວາມດັນສຳລັບແຜ່ນທີ່ເຂົ້າ/ອອກຈາກລະບົບສູນບົດບັດ, ໃນຂະບວນການຖ່າຍທອນແມ່ນສິ່ງປ່ອນສູນບົດບັດທີ່ສະຖານທີ່ທີ່ການດຳເນີນງານຂອງໂຣບອດເກີດຂຶ້ນ. ການແບ່ງສ່ວນນີ້ແມ່ນຖືກອະທິບາຍແບບກວ່າໃນການອໍ່ອິດສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງສຽງ

ປະໂຫຍດຂອງ Diagram 600 ຄືອະໄດ້?

Based on its described architecture, benefits include --- vacuum-based wafer transfer, ການດຶງອາກາດ/ການກັບຄືນໃສ່ສະຖານທີ່ເພື່ອຄວາມສະອາດ, ການດູແລດໍາລົງຂອງຫ, ແລະ pre-alignment—ສະໜັບສະໜູນການຍ່າຍທີ່ສາມາດປ່ອນແລະຄວບຄຸມການປ່ອນເຊື່ອມໃນເຄື່ອງມືຊິມິກອດ.

ສະຖິບັນ

ຄວາ SIASUN ສະຖານທີ່ຍ່າຍບັດສຽງສຽງສຽງ 600 (ຮູບແບບ 600) ຖືກນຳເສີມເປັນສິນຄ້າທີ່ເຫັນແບບຊິມິດອິນດິບ ລະບົບຍ່າຍແຜ່ນວາຟເຄີຍສູນອາກາດ ສ້າງຂຶ້ນໃກ່ການສ້າງສໍາລັບສໍາລັບຄວາມສະດວກສຽງທົ່ວໄປ: "ລູກລອດລະດັບ (ຫໍ້ເຂົ້າ/ເອົາອອກ), ຫໍ້ສົ່ງວັດສະຖານສູນອາກາດ, ຫຼັກສູດອາກາດ, ແລະ ອຸປະກອນກໍ່ລະດັບ", ກັບ ການດຶງອາກາດແລະການກັບຄືນ chức năng nhằm xử lý sạch sẽ cao. Giống như nhiều nền tảng chuyển vacuum, giá trị của nó nằm ở việc cho phép ควบคุมการเคลื่อนไหวของเวเฟอร์ที่สามารถทำซ้ำได้ภายใต้สุญญากาศ, ສະໜັບສະໜູນສະຖານທີ່ກະບວນການທີ່ແບບສະຖາບແລະກະບວນການຜະລິດທີ່ເປັນສິນຄ້າສົນໃຈກ່ຽວກັບການປົກປ່ອນສິນຄ້າ.