SIASUN Vacuum Transfer Platform Diagram 600 (Diagram 600)

Bu kontekstdə "vakum transfer platforması" adətən yük boşaltma interfeysləri ilə vakum əsaslı proses modulları arasındaçip hərəkətini təmin edən inteqrasiya olunmuş bir alt sistemə istinad edir, çirklənmə riskini azaltmaq və təkrarlanan istehsal axınlarını dəstəkləmək üçün nəzarət olunan təzyiq şəraitini qoruyur.

Diaqram 600 üçün ictimai məhsul təsvirləri onu əsasən yarımkeçirici çip istehsal müəssisələrindəçip transferi üçün istifadə olunan bir platforma kimi xarakterizə edir və yük boşaltma kameraları (yük kilidləri), transfer kamerası, əvvəlcədən hizalayıcı və vakum robotudaxil olmaqla bir arxitektura təsvir edir, yüksək təmizlik əməliyyatını dəstəkləmək üçün vakum çıxarılması və geri doldurma funksiyaları ilə.

Daha geniş yarımkeçirici alətlərin konfiqurasiyasında, vakum transfer platformaları ön avtomatlaşdırmanın (tez-tez EFEM və ya FOUP interfeysi) aşağısında və proses kameralarının yuxarısında yerləşir. Onların əsas məqsədi vakum altında çipləri hərəkət etdirməkdir (ya da nəzarət olunan vakum keçidləri vasitəsilə) ki, proses kameraları dövrlər arasında atmosferə açılmasın—bu yanaşma məhsuldarlığı və proses sabitliyini dəstəkləyir.

Dizayn və Xüsusiyyətlər

Sistem səviyyəsində arxitektura

Tipik bir vakum transfer platforması bir neçə kamera və interfeys ətrafında təşkil olunur:

• Yük/Boşaltma kameraları (Yük Kilidləri): Atmosfer təzyiqi ilə vakum arasında dövr edən aralıq kameralar, çiplərin əsas vakum mühitini havalandırmadan vakum alətlərinə daxil olmasına/çıxmasına imkan tanıyır.

• Transfer kamerası: Çipləri interfeyslər arasında hərəkət etdirən bir çip idarəetmə robotunun hərəkət etdiyi nəzarət olunan mühiti təmin edən mərkəzi vakum kamerasıdır.

• Vakum robotu: Vakum altında götürmə/yerləşdirmə əməliyyatlarını həyata keçirən daxili idarəetmə mexanizmidir.

• Əvvəlcədən hizalayıcı (çip orientatoru): Proses modullarına və ya aşağıdakı idarəetmə mövqelərinə transfer edilmədən əvvəl çipləri yönləndirmək və ya mərkəzləşdirmək üçün istifadə olunan bir moduldur.

SIASUN-un Diaqram 600 siyahısı bu əsas modulları—yük/boşaltma kameraları, transfer kamerası, əvvəlcədən hizalayıcı və vakum robotu—əsas daxil edilmiş funksional elementlər kimi açıq şəkildə adlandırır.

Vakum çıxarılması və geri doldurma

Diaqram 600 təsviri həmçinin "vakum çıxarılması və geri doldurma" yüksək təmizlik əməliyyatı məqsədini nəzərdə tutur. Yarımkeçirici vakum sistemlərində, yük kilidləri və transfer modulları adətən atmosferik idarəetmə ilə vakum emalı arasında çipləri keçirmək üçün nəzarət olunan pompa aşağı və havalandırma (geri doldurma) prosedurlarını istifadə edir, eyni zamanda hissəciklərin daxil olmasını azaldır və təzyiq şoklarını məhdudlaşdırır.

Təmizlik və çirklənmə nəzarətinin məqsədi

Vakum altında yarımkeçirici çip transferi çirklənmə nəzarəti ilə sıx bağlıdır. Sənaye istinadları çiplərin yük kilidi kameraları vasitəsilə vakum alətlərinə daxil olub çıxdığını təsvir edir ki, bu da düzgün vakum səviyyələrini qorumağa və hissəciklərə həssas prosesləri dəstəkləməyə kömək edir. Diaqram 600 "yüksək təmizlik"i mərkəzi əməliyyat məqsədi kimi təqdim edir, bu da çip istehsalında vakum transfer platformalarının motivasiyaları ilə uyğundur.

Texnologiya və Spesifikasiyalar

Əsas funksional modullar

Diaqram 600 üçün ictimai məlumatlar adətən yüksək səviyyədədir. Məhsul siyahısı platformanın əsas elementlərini müəyyən edir, lakin tam məlumat vərəqini dərc etmir (məsələn, çip ölçüsü dəstəyi, pompalama sürəti, robotun təkrarlılığı, dövr müddəti). İctimai olaraq bildirilen odur ki, Diaqram 600 "əsasən çip transferini asanlaşdırır" və aşağıdakı modulları əhatə edir:

• Yük/Boşaltma kameraları (yük kilidləri)

• Transfer kamerası

• Əvvəlcədən hizalayıcı

• Vakum robotu

• Vakum çıxarılması və geri doldurma qabiliyyəti

Vakum transfer modulları adətən necə işləyir

Yarımkeçirici vakum alətlərində, yük kilidi kameraları təzyiq keçid tamponları kimi fəaliyyət göstərir. Çiplər yük kilidi vasitəsilə daxil olur/çıxır ki, hədəf vakum səviyyəsinə çatmadan əvvəl vakum transfer kameralarına verilsin. Transfer kamerasıiçərisində, bir robot qolu çipləri interfeyslər və bağlı proses modulları arasında daşıyır. Patentlər və texniki təsvirlər adətən bu düzəni təsvir edir: proses kameraları bir transfer kamerası ilə bağlıdır, bir robot çipləri proses kameraları və yük kilidləri arasında hərəkət etdirir.

Əvvəlcədən hizalanmanın rolu

əvvəlcədən hizalayıcı (həmçinin orientator/hizalayıcı adlanır) çiplərin sonrakı mərhələlərə yüklənmədən əvvəl düzgün yönləndirilməsini təmin etmək üçün istifadə olunur. Patent ədəbiyyatı vakum sistemlərini təsvir edərkən tez-tez çip hizalayıcılarının ön tərəfdə və ya transfer yolunda yerləşdiyini qeyd edir ki, bu da proses və ya yük kilidi kameralarına yüklənərkən düzgün yönləndirməni təmin edir.

"Diaqram 600" məhsul adı haqqında qeydlər

"Diaqram 600" SIASUN vakum transfer platforması üçün hissə/model adı kimi görünür. İctimai SIASUN mühəndislik məlumat vərəqi olmadan, modelə spesifik ədədi spesifikasiyalar sitat və konfiqurasiya asılı olaraq qəbul edilməlidir.

Tətbiqlər və İstifadə Halları

Yarımkeçirici çip istehsalı

Diaqram 600 üçün təsvir edilən əsas tətbiq yarımkeçirici çip istehsal müəssisələrindəçip transferidir. Tipik istifadə halları bunlardır:

• Çipləri yük kilidi modulları ilə proses alətləri arasında vakum mühitləri tələb edən (məsələn, çökdürmə, əritmə, səth müalicəsi) transfer etmək.

• Bir tək vakum transfer kamerası ilə birləşən bir neçə proses modulunun dəstəklənməsi.

Vakum proses alətləri klasteri

Vakum transfer platformaları tez-tez klaster alət arxitekturalarını qurmaq üçün istifadə olunur, burada bir neçə proses kamerası mərkəzi transfer kamerası ətrafında birləşdirilir. Bu, çipləri atmosferə məruz qalmadan addımlar arasında hərəkət etdirməyə dəstək verir, məhsuldarlığı artırır və həssas səth kimyalarını mümkün edir.

Tədqiqat, pilot xətləri və xüsusi mikro istehsal

Böyük çip istehsal müəssisələri ən görünən tətbiq olsa da, vakum transfer sistemləri R&D və pilot mühitlərdə də istifadə olunur—xüsusilə ultra-təmiz idarəetmə və nəzarət olunan atmosfer keçidlərinin tələb olunduğu yerlərdə. Yük kilidi və transfer kameraları vakum əsaslı yarımkeçirici istehsal iş axınlarında vacib tikinti blokları kimi geniş tanınır.

Üstünlüklər / Faydalar

Alət havalandırmasının azaldılması və məhsuldarlığın artırılması

Vakum transfer platformalarının əsas üstünlüyü odur ki, əsas proses vakum mühiti stabil qala bilər çiplər yük boşaldılarkən/yüklənərkən yük kilidi vasitəsilə. Sənaye mənbələri çiplərin yük kilidləri vasitəsilə daxil olub çıxdığını təsvir edir ki, bu da düzgün vakum səviyyələrini təmin etməyə və hissəciklərə həssas şəraitləri qorumağa kömək edir.

Daha yaxşı çirklənmə nəzarəti

Vakum transferi və nəzarət olunan yük kilidi dövrü, əsas vakum mühitlərini dəfələrlə havalandırmaqla müqayisədə hissəciklərin daxil olmasını azaltmağa kömək edir. Transfer zamanı vakum şəraitini qorumaq, kameralar arasında çip hərəkəti zamanı çirklənmənin qarşısını almaq üçün vacib olduğu geniş vurğulanır.

Təkrarlanan, avtomatlaşdırılmış çip idarəetməsi

Transfer kamerası içərisində vakum robotu istifadə edərək, çip hərəkəti təkrarlanan olur və əl ilə idarəetməyə daha az asılı olur—keyfiyyətin davamlılığını dəstəkləyir və daha yüksək avtomatlaşdırma səviyyələrini mümkün edir. Diaqram 600-ün vakum robotunu daxil etməsi bu standart yanaşma ilə uyğundur.

Hizalama və yerləşdirmə dəqiqliyini dəstəkləyir

əvvəlcədən hizalayıcı daxil edilməsi

ardıcıl yönləndirmə və yerləşdirməni dəstəkləyir—bu, müəyyən proses axınlarında məlum çip yönləndirməsini (məsələn, notç/ düz hizalama) qəbul edən aşağıdakı proseslər üçün vacibdir.

Tez-tez verilən suallar

SIASUN Vakum Transfer Platforması Diaqram 600 (Diaqram 600) nədir? Bu, yarımkeçirici müəssisələr üçün nəzərdə tutulmuş vakum çip transfer platformasıdır ki, çip transferini asanlaşdıran bir sistem kimi təsvir edilir vəyük/boşaltma kameraları, transfer kamerası, əvvəlcədən hizalayıcı və vakum robotu

ilə birlikdə vakum çıxarılması/geri doldurma funksiyalarını əhatə edir.

Diaqram 600 necə işləyir? yük kilidi kameraları Tipik bir iş axınında, çiplər atmosfer təzyiqi ilə vakum arasında dövr edən vakum robotu vasitəsilə keçid edir, sonra Transfer kamerası çipləri

aşağıdakı alət interfeyslərinə köçürür. Diaqram 600 bu əsas modulları ehtiva etdiyi təsvir edilir, bu da ümumi vakum transfer arxitekturaları ilə uyğundur.

Niyə vakum transfer platforması yarımkeçirici istehsalda vacibdir? Vakum transfer platformaları, yük kilidləri vəvakum transfer kameraları

istifadə edərək həssas proses mühitlərini sabit saxlamağa kömək edir, əsas vakum modullarını havalandırma ehtiyacını azaldır və hissəciklərə həssas istehsal şəraitlərini dəstəkləyir.

Diaqram 600-də yük kilidi və transfer kameralarının rolu nədir?

Yük kilidləri, çiplərin vakum sisteminə daxil olub çıxması üçün nəzarət olunan təzyiq keçidi təmin edir, transfer kamerası isə daxili robot idarəetməsinin baş verdiyi vakum mühitidir. Bu bölmə yarımkeçirici vakum transfer istinadlarında geniş təsvir edilir.

Diaqram 600-ün faydaları nələrdir? Təsvir edilən arxitekturasına əsasən, faydalar, vakum əsaslı çip transferi, təmizlik üçün vakum çıxarılması/geri doldurmarobot idarəetməsi vəəvvəlcədən hizalama

daxildir—hamısı yarımkeçirici alət zəncirlərində təkrarlanan və çirklənmə nəzarət olunan hərəkəti dəstəkləyir.

Xülasə SIASUN Vakum Transfer Platforması Diaqram 600 (Diaqram 600) yarımkeçirici yönümlü vakum çip transfer sistemi olaraq təqdim edilir ki, bu da ənənəvi vakum alət arxitekturası ətrafında qurulmuşdur: yük kilidləri (yük/boşaltma kameraları), bir vakum transfer kamerası, bir vakum robotu və bir əvvəlcədən hizalayıcıdaxil olmaqla bir arxitektura təsvir edir, yüksək təmizlik əməliyyatını dəstəkləmək üçün vakum çıxarılması və geri doldurma yüksək təmizlik idarəetməsi məqsədini güdür. Bir çox vakum transfer platformasında olduğu kimi, onun dəyəri nəzarət olunan, təkrarlanan çip hərəkətini vakum altındatəmin etməkdədir, sabit proses mühitlərini və çirklənməyə həssas istehsal iş axınlarını dəstəkləyir.